1.1 範圍
　　此標（biāo）準適用於所有本篇所（suǒ）定義之無塵室及潔淨區之半導體廠。

1.2 目的（de）
　　本（běn）標準旨在提供無塵室避免火災及相關危害合理的安全防護,而這些防護措施可避免或減少 人員及財產之損害。


1.3 應（yīng）用
　　此標準所考慮是以合理的預防火災及爆炸，避免造成（chéng）人員傷亡及財（cái）產之（zhī）損害，此時所需考慮之環境狀況及活動（dòng）狀態為本標準所討論之重點；除非其它地方有所規範，否則本標（biāo）準不用於要求，已（yǐ）經安裝完成設備除非在該狀態（tài）下已造成（chéng）生命危害或鄰進近地區（qū）之財產損失。

1.4 名詞定義
§高架（jià）地板係統(Access Floor System)
　　配電盤架設於基座上以提供地麵下空間供安裝機（jī）械通訊或作為供風或回風空間。

§管轄權(Authority Having Jurisdiction)
　　組織部門或個人負責對設備安裝或製程之認可,在（zài）NFPA, 管轄權會隨區域有所變化,可能是聯邦,州,地區或地區部門,或個人可能（néng）是消防首長,副首長,州消防局長機動小組或衛生局營建部門及其它經（jīng）法律授權的單位。
　　保險公司亦有檢查權,原設計或擁有者（zhě）亦有此權利。


§潔淨區(Clean Zone)
　　定義為區間內之空氣中之灰塵（chén）粒子濃度控（kòng）製在一定的範圍內。


§無塵室(Clean Room)
　　定義為房間內之空氣中之灰塵（chén）粒子濃度控製在一（yī）定的範圍內。


§壓縮氣（qì）體(Compressed Gas)
　　於容器中之任何氣體或混合氣體其在（zài）70OF(21.1℃)時,絕對壓力大於40psi(275.8Kpa);或在70 OF時絕對壓力小（xiǎo）於40psi,但在130OF(54.4℃)時其壓力大於104psi;或易（yì）燃性氣體在100 OF(37.8℃)時,其蒸氣（qì）壓大（dà）於40psi稱為壓縮氣體。